KDY-1型四探針電阻率測試儀
性能特點:
ª 配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更**。
ª 數字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
l 基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
ª 可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。
u 可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
ª 設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
ª 流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
ª 電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
ª 儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的**系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
ª 可加配電腦,使用專用軟件進行數據采集,實現自動換向測量、存儲,求平均值,*大值、*小值、*大百分變化率、平均百分變化率等內容。
ª 可配KDDJ-2電動測試架,自動上下運行,使測量更方便快捷。
ª 四探針頭采用國際上先進的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高(國家知識產權局已于2005.02.02授予**權,**號:ZL03274755.1)。
STY-2R型導電型號測試儀是嚴格按照國際標準SEMI MF42-1105及國家標準GB/T1550中的全類型整流法設計生產。
由于將三根測試探針做成測量探頭,每根探針均有獨立伸縮和加壓機構,因此樣品上無需制備電極。
探針與半導體材料上產生的整流電勢差經低噪聲、低飄移集成運算放大器放大后,用液晶顯示器件直接指示型號。
性能指標:
ª 可準確判別硅材料導電型號的電阻率范圍:0.05-1000Ω·cm。
ª 實際可測量硅材料電阻率范圍:10-2~104Ω·cm。
ª 可測線度大于5mm的任意形狀的硅塊和硅片,樣品長度、直徑不受限制。
ª 顯示方式:由顯示N和P字樣的液晶器件直觀指示半導體材料型號。
ª 探針采用耐磨的碳化鎢硬質合金,直徑0.8mm,每根針有獨立的加壓機構,壓力可在50~500克(單針)范圍內根據用戶需要進行調整。
ª 外型尺寸:210 100 230(寬高深,單位mm)。
ª 重量:約3kg。
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