簡要概述:
Ø ST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準,專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。
Ø 該儀器以大規模集成電路為主要核心;用基準電源和運算放大器組成高精度穩流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數,使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
性能特點:
Ø 采用大規模集成電路作為儀器的主要部分,測量準確穩定,低功耗;
Ø 以大屏幕LCD顯示讀數,直觀清晰;
Ø 采用單個電池供電,帶電池欠壓指示;
Ø 體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
Ø 特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜
Ø 探頭帶抗靜電模塊
技術指標:
測量范圍
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按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
1. 方塊電阻 1.00~199.99Ω;
2. 方塊電阻 10.0~1999.9Ω;
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恒流源
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測量過程誤差:≤±0.8%
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模數轉換器
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量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數點同步顯示;
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測量不確定度
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在整個量程范圍內,測量不確定度≤5%
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四探針探頭規格
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間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
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電源
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9V疊層電池1節
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ST-21方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規格:
型號
(Model)
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曲率半徑
(Radius)
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壓力
(loads)
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探針間距
(spacing)
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探針排列
(Arrangement)
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HP-501
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0.5mm
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100g
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3.8mm
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直線
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HP-502
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0.75mm
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100g
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3.8mm
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直線
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HP-503
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0.1mm
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150g
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1mm
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直線
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HP-504
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0.5mm
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100g
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1.59mm
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直線
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ST-21方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規格:
型號
(Model)
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曲率半徑
(Radius)
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壓力
(loads)
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探針間距
(spacing)
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探針排列
(Arrangement)
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SP-601
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0.5mm
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100g
|
1.59mm
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方形
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