简要概述:
Ø ST-21型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准,专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器,可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
Ø 该仪器以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
性能特点:
Ø 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定,低功耗;
Ø 以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;
Ø 采用单个电池供电,带电池欠压指示;
Ø 体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
Ø 特制之手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
Ø 探头带抗静电模块
技术指标:
测量范围
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按方块电阻量值大小分为二个量程档:
1. 方块电阻 1.00~199.99Ω;
2. 方块电阻 10.0~1999.9Ω;
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恒流源
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测量过程误差:≤±0.8%
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模数转换器
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量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕显示;极性,超量程均自动显示;小数点同步显示;
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测量不确定度
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在整个量程范围内,测量不确定度≤5%
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四探针探头规格
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间距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ
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电源
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9V叠层电池1节
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ST-21方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格:
型号
(Model)
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曲率半径
(Radius)
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压力
(loads)
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探针间距
(spacing)
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探针排列
(Arrangement)
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HP-501
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0.5mm
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100g
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3.8mm
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直线
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HP-502
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0.75mm
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100g
|
3.8mm
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直线
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HP-503
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0.1mm
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150g
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1mm
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直线
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HP-504
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0.5mm
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100g
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1.59mm
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直线
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ST-21方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格:
型号
(Model)
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曲率半径
(Radius)
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压力
(loads)
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探针间距
(spacing)
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探针排列
(Arrangement)
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SP-601
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0.5mm
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100g
|
1.59mm
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方形
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