双电测四探针软件测试系统RTS-9

 测量范围

电阻率：10^-4～10⁵ Ω.cm(可扩展)；   

方块电阻：10^-3～10⁶ Ω/□(可扩展)；

电导率：10^-5～10⁴ s/cm；

电阻：10^-4～10⁵ Ω；

可测晶片厚度

 ≤3mm

可测晶片直径

 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；

 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源

 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

数字电压表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标

 间距：1±0.01mm；
 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数

 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量*大相对误差

(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%

整机测量标准不确定度

 ≤4%

计算机通讯接口

 并口

标准使用环境

 温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65%；
 无高频干扰；
 无强光直射；